大样品原子力显微镜 IG-AFM

该系统采用当今国际最先进的一体式中央控制三维全量程闭环头部扫描。

压电陶瓷扫描头在低工作电压下提供 X，Y 和 Z 方向的高精准度纳米级运动，具有高度线性运动和无蠕变的显著优点。

配备尖端头部扫描模块，此配置在灵活性和样本的大小方面提供了显著的优势。被测样品大小与重量不受限制，几乎任何大小或重量的纳米材料都可进行表面三维形貌与粗糙度的测量。

可实现大范围的高精度扫描，样品尺寸和重量不受限制，如大光栅、特殊形状光栅等。（需定制选配）

CD—AFM-12S 及 CD—AFM-12S PRO 除常规测试模块，还可根据用户需求进行个性化定制：得益于开放式平台的设计，可增加对晶圆的应力、翘曲度检测——（需定制选配）。

样品固定方式：300mm 真空吸附样品台，自动适应各种尺寸晶圆的全软件控制的多道真空吸轨。

扫描角度：覆盖 0～360° 检测定位方式：软件控制的行程 300mm 二维工作台自动定位，保证 12 英寸样品无盲区定位和检测。

马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，以保护探针和样品。探针升降行程优于 20mm（探针升降行程还可优于 30mm 及以上，便于测量厚度更大的样品。）

主要应用场景：微纳材料表面三维形貌、粗糙度的检测

包括：晶圆（硅片）；光栅；陶瓷；合金；薄膜；晶体；超晶玻璃；高分子材料；复合材料；第三代半导体碳化硅、氮化镓、铌酸锂化合物衬底等。

超实用和扩展，可以实现各种测量仪器的联动使用，最终实现跨尺度原位检测。

原位数字化高分辨光学显微镜观测系统，配备 1-12 倍无级光学变焦，同轴可调亮度辅助照明光源。

一体式三维全量程闭环头部扫描。实现闭环反馈，定位更精准。

配备封闭式金属防护罩，气动减震器平台，强大的抗干扰能力，始终使信噪比达到最高状态。

实测样品：

               硬盘上比特的 MFM                HDD 硬盘

                 五苯丙苯